EM-30台式扫描电镜核心技术参数与配置介绍

EM-30超高分辨率台式扫描电镜依托成熟的成像技术与硬件配置，兼顾检测精度与使用实用性，核心硬件配置及关键技术参数对标检测设备，整体性能稳定均衡，适配各类常规微观形貌检测工作。

成像性能方面，设备核心分辨率为5nm@30kV SE，放大倍数区间为15倍至150000倍，可覆盖低倍宏观观测到高倍微观精细化检测的全场景需求。设备搭载发叉式钨丝阴极电子枪，标配二次电子探测器，可按需选配EDS探测器，拓展成分检测功能。加速电压覆盖1kV-30kV，支持1kV精准步进调节，适配不同材质、不同精度样品的检测要求。

硬件结构与操控配置上，设备搭载全自动马达样品台，X、Y轴可实现35mm马达驱动移动，支持0~45°马达倾斜、360°电子束旋转及Z轴5~50mm调节，搭配多规格通用样品座，可适配多种尺寸样品，最大支持60mm直径、45mm高度试样。设备配备涡轮分子泵与机械泵组合真空系统，抽真空时长小于3分钟，检测效率高效。同时搭载Nano Station 4.0TM专用软件，支持自动聚焦、亮度对比度调节等智能化功能，搭配操控杆、鼠标、键盘三重操控模式，操作便捷性大幅提升。